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德國(guó)Thyracont真空計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
更新時(shí)間:2024-09-11   點(diǎn)擊次數(shù):889次

德國(guó)Thyracont真空計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

德國(guó)Thyracont公司致力于研發(fā)和生產(chǎn)智能真空測(cè)量?jī)x表以及控制儀表

我們的產(chǎn)品組合包括真空傳感器、真空傳感器、真空計(jì)、真空開(kāi)關(guān)、控制器以及附件和真空組件。Thyracont真空計(jì)包括了薄膜規(guī),電容規(guī),電阻規(guī),皮拉尼,熱陰極,冷陰極,以及復(fù)合真空規(guī),滿足不同量程的需求。

圖拉特thyracont真空產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

晶圓鍵合是半導(dǎo)體技術(shù)中的一個(gè)程序步驟,將兩個(gè)晶圓連接在一起。對(duì)于某些應(yīng)用,如芯片傳感器的封裝,該過(guò)程是在真空下進(jìn)行的。

加載時(shí),粘結(jié)室通過(guò)粗加工泵在旁路連接中抽真空,直到達(dá)到真空度,此時(shí)系統(tǒng)可以平穩(wěn)切換到高真空泵。然后在高真空條件下進(jìn)行粘合過(guò)程。在抽真空過(guò)程中,必須精確控制旁路中的絕對(duì)壓力,以防止損壞高真空系統(tǒng)。在晶圓鍵合過(guò)程中,必須監(jiān)測(cè)腔室內(nèi)的真空度,以保證所需的結(jié)果

VSC43MA4型粗真空傳感器用于控制旁路循環(huán)。其陶瓷傳感器以所需的精度測(cè)量絕對(duì)壓力,并且?guī)缀鯚o(wú)需維護(hù)。粘合過(guò)程的過(guò)程壓力通過(guò)帶有皮拉尼/冷陰極組合傳感器的VSM傳感器進(jìn)行監(jiān)控。

緊湊型VSC43壓電傳感器用于測(cè)量粗真空范圍內(nèi)的絕對(duì)壓力。由于其耐用的陶瓷傳感器,它對(duì)污垢和污染幾乎不敏感

VSC43真空計(jì)

耐化學(xué)腐蝕:帶氟橡膠密封的陶瓷傳感器

可靠:高可靠性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性

獨(dú)立:測(cè)量不受氣體類型的影響

快速:響應(yīng)時(shí)間短,可達(dá) 20 ms

堅(jiān)固耐用: 耐臟污

可根據(jù)要求提供控制器:適用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12

標(biāo)準(zhǔn)化線性輸出信號(hào) 0-10 V(四線)或 4-20 mA(兩線)


帶皮拉尼/冷陰極傳感器的VSM真空傳感器

· 長(zhǎng)壽命:通過(guò)皮拉尼自動(dòng)控制冷陰極,冷陰極在低壓下接通可延長(zhǎng)使用壽命,對(duì)空氣涌入不敏感

· 可靠: 出色的點(diǎn)火性能

· 低雜散磁場(chǎng)

· 超壓穩(wěn)定:過(guò)壓穩(wěn)定性高達(dá) 16 bar

· 金屬密封不銹鋼傳感器單元,適用于特高壓應(yīng)用(浸出率<5e-10毫巴升/秒)

· 防護(hù)等級(jí)高達(dá) IP54

· 多種接口:數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號(hào),EtherCAT或PROFINET。

· 繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn):兩個(gè)獨(dú)立的、無(wú)電勢(shì)的繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn)



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